國內外精密超精密加工技術發展與應用調研報告
【正文目錄】
第一章 國內外精密超精密加工技術發展概述
第一節 精密超精密技術
第二節 國內外精密超精密加工技術發展現狀
一、美國
二、歐洲
三、日本
四、中國
第三節 精密超精密加工技術發展趨勢
一、發展超精密加工技術基礎理論
二、擴展加工材料、工藝方法
三、微納結構功能表面超精密加工技術
四、高效超精密加工
五、超精密加工技術將向極致方向發展
六、超精密加工向超精密制造發展
第二章 國內外主要精密超精密加工技術
第一節 精密超精密切削技術
一、金剛石超精密切削
二、超聲振動切削
三、微細切削
四、激光加熱和熱超聲輔助切削加工
第二節 精密超精密磨削技術
一、超精密塑性磨削
二、砂帶磨削
三、鏡面磨削
第三節 精密超精密拋光技術
一、超精密無損傷拋光
二、非接觸拋光
三、曲面超精密拋光
四、計算機控制光學表面成形
第四節 精密超精密特種加工技術
一、電子束加工
二、離子束加工
三、激光束加工
四、微細電火花加工
五、微細電解加工
六、LIGA技術
七、超精密微納米加工
八、特種加工技術選擇原則
第五節 精密超精密測量技術
一、精密測量技術發展現狀
二、精密測量技術與光刻機
第六節 精密超精密環境控制技術
第三章 國內外精密超精密加工機床技術
第一節 精密超精密加工機床結構設計技術
一、超精密機床高剛度特殊的結構
二、五軸聯動機床發展及應用
第二節 精密超精密機床數控系統現狀
一、精密超精密機床的控制策略
二、精密超精密機床數控系統現狀
第三節 精密五軸聯動加工與3D打印混合加工技術現狀
第四節 精密超精密加工機床關鍵零部件
一、超精密運動部件
二、超精密驅動運動部件
第四章 國內外精密超精密加工設備及技術應用
第一節 國外典型精密超精密加工設備
一、DTM-3和LODTM大型金剛石超精密車床
二、AHN15-3D超精密自由曲面加工機
三、Nanotech 650FG五軸聯動自由曲面磨床
四、Nanoform®L1000多軸超精密加工系統
五、KERN Pyramid Nano高精密CNC微型加工中心
第二節 國內主要精密超精密加工設備
一、NAM-800型納米數控車床
二、Nanosystem-1000數控光學加工機床
三、CHD-25九軸五聯動車銑復合中心機床
第三節 國內外精密超精密加工技術應用領域
一、國防武器裝備
二、航空航天領域
三、集成電路領域
第四節 精密超精密加工技術應用案例
一、詹姆斯•韋伯太空望遠鏡MIRI儀器光譜儀鏡開發
二、F-35復合蒙皮型材精密加工
三、航空發動機葉片表面磨削
四、發動機燃燒室冷卻通道精密加工
五、美國國家點火裝置（NIF）
六、精密測量在制造企業的數據應用
七、EFFICIENT light——通過晶片級玻璃模塑實現高效光纖-PIC連接
八、荷蘭ASML公司精密光刻機
第五章 國內外重點精密超精密加工技術與設備研制機構
第一節 美國重點精密超精密加工技術與設備研制機構
一、勞倫斯•利弗莫爾國家實驗室（LLNL）
二、羅切斯特大學光學研究所和光學加工中心（COM）
三、美國Moore Nanotechnology System 公司
四、美國阿美特克集團（Ametek）
第二節 歐洲重點精密超精密加工技術與設備研制機構
一、英國克蘭菲爾德大學精密工程研究所
二、英國Zeeko公司
三、德國弗勞恩霍夫應用光學和精密工程研究所（IOF）
四、德國庫格勒公司（KUGLER GmbH）
五、德國KERN Microtechnik GmbH公司
六、法國法孚集團
第三節 日本重點精密超精密加工技術與設備研制機構
一、發那科公司（FANUC）
二、木村制作所
三、不二越株式會社（Nachi Fujikoshi）
四、捷太格特集團公司
第四節 國內重點精密超精密加工技術與設備研制機構
一、北京機床研究所有限公司
二、北京航空精密機械研究所
三、中科院上海光機所精密光學制造與檢測中心
四、哈爾濱工業大學
五、清華大學精儀系制造工程研究所
六、浙江工業大學超精密加工研究中心
七、香港理工大學超精密加工技術國家重點實驗室
八、湖南大學國家高效磨削工程技術研究中心
第六章 國外精密超精密加工技術發展啟示及建議
第一節 精密超精密加工技術發展意義
一、衡量國家制造水平
二、超精密加工體現了國家制造業的綜合實力
三、現代高新技術產業發展
第二節 我國精密超精密加工技術與國際先進水平差距
第三節 我國精密超精密加工技術發展思路建議
